高純氣體管道中所有高潔凈的氣體均需通過管路輸送到儀器用點(POU),為了達(dá)到儀器對氣體的質(zhì)量要求,在氣體出口指標(biāo)一定的情況下,則更需重視配管系統(tǒng)的材料選用和施工質(zhì)量。
對輸送高純氣體管道而言,其影響氣體質(zhì)量的管道材料主要特性是氣體反應(yīng)、出氣速率、吸附性、表面粗糙度和耐磨性、抗腐蝕性。
氣體作用性
不同材料對氧的反應(yīng)性材料大氣中氧氣的反應(yīng)(ppm)不銹鋼管 O銅管 O聚丙烯管 1l聚四乙烯管 12普通鋼管 203 從表看到,對于輸送ppm級及更高純要求的氣體,從氣體潔凈度須選用316LBA不銹鋼管或者316LEP不銹鋼鋼管,如果我們不恰當(dāng)?shù)剡x用了不符合要求的管道材料,那么,無論我們采取什么凈化手段,都將是無濟(jì)于事的。
出氣速率
材料冶煉過程形成的管道材料晶間或者晶格內(nèi)部存在著某些雜質(zhì),如氮、碳?xì)浠衔锏?,在高純氣體輸送過程中,這些雜質(zhì)會緩慢地釋放出來,污染高純氣體,尤其是雜質(zhì)要求在ppb以上級的高純氣體。通常低碳不銹鋼管的出氣速率較低。
吸附性
由于水分等雜質(zhì)易吸附。橡膠、塑料或一些表面粗糙的材料易吸附水分等雜質(zhì),使用這些材料輸送高純氣體易被污染,除了輸送ppm級以下的氧氣會使用紫銅管外,高純氣體都不采用銅管和塑料管,氣體會接觸到的墊片、填料也不得采用橡膠、塑料材料(包括聚四乙烯)。
表面粗糙度和耐磨性
為了確保輸送的氣體純凈度,要求管道材料內(nèi)表面有一個高的光潔度,這樣可以防止污染粒子及濕氣在管壁滯留,可以在吹掃時比較容易吹凈。管材比較光潔而且耐磨,可以在氣流高速沖刷下,產(chǎn)生的金屬粒子就少,不銹鋼比銅管產(chǎn)生粒子要少,所以不銹鋼管耐磨性優(yōu)于鋼管。
抗腐蝕性
微電子生產(chǎn)中,經(jīng)常使用一些腐蝕性很強(qiáng)的氣體,這時須采用耐腐蝕的管材,否則管道會被腐蝕,輕則表面產(chǎn)生銹斑,重則管道大面積剝落、穿孔,不但污染氣體,還會發(fā)生危險事故。
以上就是陽泰祥為大家介紹的有關(guān)高純氣體管道安裝對配管和材質(zhì)有什么要求的分析,希望可以給大家提供參考。
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